Deutsche Physikalische Gesellschaft e. V. (DPG)
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E-Verhandlungen
E-Verhandlungen 1998
Fachverband Vakuumphysik und Vakuumtechnik
Hauptvorträge:
| VA 1.1 | Mo 09:30 | H48 |
| Anforderungen der Halbleiterfertigung an Vakuumpumpen |
| •P. Reimer, D. Smith |
| VA 2.1 | Mo 13:30 | H48 |
| Das neue Primärnormal der PTB für Kalibrierungen von Vakuummeßgeräten zwischen 10-9 Pa und 10-2 Pa |
| •K. Jousten |
| VA 2.8 | Mo 16:10 | H48 |
| Entgasungsprozesse bei der Weltraumsimulation |
| •H. E. Nuß |
| VA 4.1 | Di 10:30 | H48 |
| Reaktives Doppelmagnetron-Sputtern zur großflächigen Herstellung optischer Schichtsysteme auf Glas und Folie |
| •J. Strümpfel, D. Schulze |
| VA 4.2 | Di 11:10 | H48 |
| Vacuum Behaviour of Cathode Ray Tubes, UHV in Your Living Room |
| •J.-P. Jacobs, D. Dijkamp |
| VA 5.1 | Di 13:30 | H48 |
| Technologie und Equipment zur Züchtung von Silizium-Einkristallen mit Durchmessern von 300 mm und mehr |
| •B. Altekrüger |
| VA 5.2 | Di 14:10 | H48 |
| 300 mm Wafer - The Challenge in Manufacturing Development for Future Semiconductor Processing |
| •P. Kücher, J. Rüstig |
| VA 5.3 | Di 14:50 | H48 |
| Metallisierungskonzepte für innovative integrierte Schaltungen |
| •A. Klumpp, P. Ramm |
Fach- und Postersitzungen:
| VA 1 | Mo 09:30-11:30 | H48 |
| Pumpen |
| VA 2 | Mo 13:30-16:50 | H48 |
| Druckmessung, Ausgasung, Metrologie |
| VA 3 | Di 09:30-10:30 | H48 |
| Große Vakuumsysteme |
| VA 4 | Di 10:30-12:30 | H48 |
| Vakuumverfahrenstechnik 1 |
| VA 5 | Di 13:30-15:30 | H48 |
| Vakuumverfahrenstechnik 2 |
| VA 6 | Di 15:30-16:10 | H48 |
| Geschichte der Vakuumtechnik |
Zuletzt geändert am 05.08.1998
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